Giraanta Diiradda Sare ee Alumina Chamber ee loogu talagalay Nidaamyada Plasma Etch & CVD

Giraanta diiradda saarta qolka St.Cera waa qayb muhiim ah oo qalabka habka loo isticmaalo qalabka plasma etch, CVD, iyo PVD semiconductor. Waxaa laga soo saaray 99.8% alumina saafi ah oo sare (Al₂O₃), giraantu waxay ku wareegsan tahay geeska wafer si ay u xaddido balaasmaha una wanaajiso qaybinta xagasha ion, taasoo hagaajinaysa isku-dhafka etch ee dusha sare ee wafer-ka. Maaddadu waxay bixisaa iska caabin balaasma oo heer sare ah, xoog dielectric sare (15×10⁶ V/m), iyo xasillooni kuleyl ilaa 1600°C, taasoo hubinaysa isku hallayn muddo dheer ah oo ku jirta jawi balaasma oo ku salaysan fluorine ama chlorine. Aqoonsiga dhulka saxda ah iyo fidsanaanta (≤10 μm) waxay suurtogalinaysaa meelaynta geeska wafer sax ah, yareynta cilladaha geeska iyo soo saarista walxaha.

Tilmaamaha(oo ku salaysan 99.8% Al₂O₃):

Codsiyada:

• · Giraangiraha diiradda saaraya qolka dielectric etch (oxide, nitride etch)
• · Faraantiyada geeska qolka silikoon etch
• · Faraantiga qalabka habka qolka CVD
• · Giraangiraha iyo gaashaanka qolka PVD

Habka Wax Soo Saarka:

Budada alumina ee saafiga ah ayaa si gooni gooni ah loogu cadaadiyaa → cagaar lagu farsameeyay qaab saafi ah → lagu sifeeyay 1600°C → Shiidida dheemanka CNC ee ID, OD, iyo dhumucda → lapping si loo gaaro fidsanaan ≤10 μm → Nadiifinta ultrasonic → 100% CMM kormeer. Dhammaystirka dusha sare Ra ≤0.4 μm wuxuu yareeyaa isku dhejinta walxaha.

Xakamaynta Tayada:

• · Kormeer cabbir 100% ah (ID, OD, dhumuc, isbarbardhig)
• · Tijaabada gelinta rinjiga ee dildilaaca yar yar (dillaacyo looma oggola)
• · Kormeerka muuqaalka oo ka hooseeya mikroskoob 20× — ma jiraan jajabyo, hulal, ama isbeddel midab leh
• · Tijaabada xoogga Dielectric sida ku cad ASTM D149 (muunad qaadashada)

Faa'iidooyinka ka badan faraantiga Silicon ama Quartz Focus:

• · 5–10× cimri dheer oo ku jira balaasmaha fluorocarbon
• · Ma jiraan walxo nabaad-guur ah oo la isticmaali karo oo wasakheeya buskudka
• · Xoogga sare ee dielectric wuxuu ka hortagaa qalooca
• · Waxay ilaalisaa simanaanta iyo saxnaanta cabbirka kumanaan saacadood oo RF ah

Agab Kale — Zirconia-ka Xasiloon ee Yttria (ZrO2)₂):

Codsiyada u baahan adkaanta jabka oo sareysa (tusaale ahaan, qolalka leh wareegga kulaylka ee soo noqnoqda ama shoog farsamo), giraanta diiradda ZrO₂ (cufnaanta 6.03 g/cm³, xoogga laalaabka 1000 MPa, adkaanta jabka 5–8 MPa·m¹/²) ayaa la heli karaa. Si kastaba ha ahaatee, alumina waxay bixisaa kharash-oolnimo wanaagsan waana heerka warshadaha ee inta badan codsiyada giraanta diiradda saarista.

Habayn:

• · Tallaabooyinka astaamaha, miinooyinka ka hortagga dabka, ama godadka rakibaadda sawir-qaadista macaamiisha kasta
• · Dahaarka Y₂O₃ si loo xoojiyo iska caabbinta nabaad-guurka balaasmaha (dhumucdiisuna waa 20–100 μm)
• · Calaamadaynta laysarka ee lambarka qaybta, lambarka taariikhda, ama calaamadaha isku-xidhka

Fiiro gaar ah:Dhammaan xogtu si adag ayay u raacdaa shaxda hantida Al₂O₃ ee la bixiyay. Wixii faahfaahin ah ee ku saabsan ZrO₂, tixraac xaashida xogta zirconia ee la bixiyay. Naqshadaha giraanta diiradda la saarayo waxay u baahan karaan oggolaansho shati - macaamiishu waxay mas'uul ka yihiin xaqiijinta xuquuqda hantida garaadka.