Waxyeelaha Dhammaadka Dhoobada ee Bernoulli — Maareynta Wafer-ka Aan Taabashada Lahayn ee Wafer-ka Khafiifka ah iyo kuwa Jilicsan

Qalabka wax soo saarka dhammaadka dhoobada ee St.Cera's Bernoulli wuxuu adeegsadaa kor u qaadis hawo-qaadis ah si uu u maareeyo buskudka iyada oo aan la taaban jirka. Waxaa laga sameeyay 99.8% alumina (Al₂O₃) ama silicon carbide (SiC), waxay leedahay tuubooyin si sax ah loo farsameeyay oo soo saara gaaska cadaadiska leh si loo abuuro filim hawo khafiif ah oo u dhexeeya qalabka wax soo saarka dhammaadka iyo buskudka. Mabda'an aan taabashada lahayn wuxuu baabi'iyaa wasakhda dhabarka, jajabka geeska, iyo dhaawaca dusha sare, taasoo ka dhigaysa mid ku habboon buskudka khafiifka ah (≤100 μm), buskudka jilicsan, ama qalloocan. Substrate-ka dhoobada ah wuxuu bixiyaa xoog dabacsan oo sare (361 MPa ee Al₂O₃; ilaa 550–600 MPa ee SiC), cufnaan hooseeya, iyo xasillooni cabbir oo aad u fiican, taasoo hubinaysa meelaynta lagu celin karo ee robotyada wareejinta buskudka xawaaraha sare leh.

Fiiro gaar ah oo ku saabsan Agabka:Alumina (Al₂O₃) waa agabka ugu badan ee loo isticmaalo wax-soo-saarka dhammaadka dhoobada ee maaraynta wafer-ka semiconductor-ka sababtoo ah isku-darka aadka u wanaagsan ee adkaanta, dahaarka korantada, xasilloonida kiimikada, iyo waxtarka kharashka. Silicon carbide (SiC) waxay bixisaa kuleyl badan, adkeysi sare, iyo xitaa iska caabin xirasho oo ka wanaagsan codsiyada ugu baahida badan. In kasta oo yttria-stabilized zirconia (ZrO₂) ay bixiso adkeysi jabka sare heerkulka qolka, haddana si yar ayaa loogu isticmaalaa codsigan sababtoo ah cufnaanta sare iyo astaamaha kala duwan ee ballaarinta kulaylka; waxaa laga yaabaa in loo tixgeliyo xaalado gaar ah oo looga baahan yahay adkeysiga jabka ee aan caadiga ahayn. Fadlan la tasho kooxdayada farsamada si aad u hesho hagitaanka xulashada agabka.

Tilmaamaha(oo ku salaysan 99.8% Al₂O₃):

Mabda'a Hawlgalka:

Hawada la cadaadiyay ama nitrogen (0.2–0.6 MPa) waxaa lagu bixiyaa kanaallada gudaha iyo meelaha laga baxo iyada oo loo marayo tuubooyinka saxda ah. Hawada degdega ah waxay abuurtaa aag cadaadis hooseeya oo ka sarreeya wax-soo-saarka dhammaadka (saamaynta Bernoulli), taasoo soo saarta xoog kor u qaadis ah oo taageera waferka meel u jirta 50–200 μm. Ma jiraan godad faakiyuum ah ama suuf ah oo taabanaya waferka gadaashiisa.

Codsiyada:

• · Maareynta buskudka khafiifka ah (≤50 μm) ka dib marka la shiido gadaal
• · Qaadista wafer-ka qalloocan (tusaale ahaan, ka dib CVD ama nadiifinta)
• · Wareejinta unugyada qorraxda iyo walxaha safayr-ka ee LED
• · Is-waafajinta qolka nadiifinta oo u baahan wax soo saar aan lahayn walxo
• · Maareynta muraayadaha galaaska ee wax soo saarka bandhigga

Habka Wax Soo Saarka:

Substrate-ka dhoobada ah ee laga sameeyay budada saafiga sare leh → Mashiinka CNC ee 5-axis ee kanaallada gaaska iyo godadka afka (dhexroorka 0.3–1.0 mm, dulqaadka ±0.01 mm) → dusha sare ilaa Ra ≤0.4 μm → nadiifinta ultrasonic → tijaabada daadinta helium (kanaalka gaaska). Looma baahna dahaadh - dusha sare ee dhoobada qaawan waa mid kiimiko ahaan aan firfircoonayn oo aan wasakhayn.

Xakamaynta Tayada:

• · Kormeer cabbir 100% ah (CMM) oo ku saabsan booska afka, dhererka gacanta, iyo fidsanaanta
• · Tijaabada isku-mid ahaanshaha socodka hawada: hoos u dhaca cadaadiska ≤5% dhammaan tuubooyinka
• · Tijaabada daadashada: kanaallada gaaska oo lagu xiray 0.6 MPa, ma jiro hoos u dhac cadaadis ah oo ka badan 30 ilbiriqsi
• · Kormeer muuqaal ah oo ka hooseeya mikroskoob 20× si loo ogaado dildilaacyada yaryar ama burrs

AFaa'iidooyinka ka badan Saameeyayaasha Dhamaadka Xiriirka Caadiga ah:

• · Wasakhowga dambe ee aan lahayn wafer — ma jiro taabasho farsamo
• · Ma jiro jajab gees ah ama jabitaan ah oo ku yimaada buskudka khafiifka ah
• · Waxay qabataa buskud qalloocan (ilaa 1 mm qaanso) oo leh meel bannaan oo deggan
• · Waxay baabi'isaa matoorka faakuumka iyo dayactirka godadka daloola leh
• · Dhismaha dhoobada ayaa iska caabiya xirashada iyo weerarka kiimikada

Habayn:

• · Waxaa laga heli karaa cabbirrada 200 mm, 300 mm, ama cabbirrada wafer ee gaarka ah
• · Qaababka afka gaaska: noocyada toosan, xagal leh, ama wareega
• · Qalabka: alumina (caadiga ah) ama silikoon carbide (si loo helo kulaylka ugu sarreeya iyo iska caabbinta xirashada)
• · Dhererka gacanta, flange-ka rakiban, iyo goobta dekedda gaaska sida ku cad sawirka OEM

Xaddidaadaha:

Hirgelinta mabda'a Bernoulli (naqshadeynta afka, farqiga hawada) waa ka baxsan baaxadda jaantusyada hantida agabka la bixiyay. Sifooyinka farsamada iyo kuleylka ee kor ku xusan waxay si adag u raacaan xaashida xogta ee la bixiyay ee 99.8% Al₂O₃. Lama filayo burburka waxqabadka ee dhoobada marka la eego socodka gaaska cadaadiska leh iyadoo lagu saleynayo sifooyinkan agabka. Waferada xasaasiga u ah socodka gaaska (tusaale ahaan, MEMS oo leh qaab-dhismeedyo jilicsan), cadaadiska gaaska iyo naqshadeynta afka waa in si waafaqsan loo hagaajiyaa.